洁净室机器人完美融合卓越精度、高效速度与极致清洁度

超级洁净室（SCR）6轴机器人，专为洁净室严苛的工作环境量身定制，严格遵循ISO 14644-1 2级或FED209E 1级标准。机械手臂采用全封闭结构，表面覆盖光滑聚氨酯材质，确保清洁度与可靠性达到行业领先水平。SCR机器人凭借出色的灵活性、卓越的有效负载能力以及广泛的工作范围，能够轻松应对晶圆、光掩模、晶圆载具及晶圆盒处理的各类复杂挑战。同时，其紧凑的手臂设计有效节省了设备内部空间，实现了空间利用率的最大化，为半导体生产流程带来更高的效率与便捷性。

作为SEMI的成员，史陶比尔机器人致力于与世界各地的半导体设备制造商通力合作，为其提供最佳的自动化解决方案，以应对当今半导体制造业面临的挑战。