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史陶比尔洁净室机器人符合 ISO 14644-1 标准中的 2 级（超净室版本）和 4 级（洁净室版本）洁净度要求，采用全封闭设计，表面为光滑的聚氨酯材质，具有极高的灵活性。与其他晶圆搬运机器人相比，史陶比尔超净室和洁净室机器人在灵活性、负载能力和工作范围方面表现出色，能够很好地应对晶圆、光掩模、载具及晶圆盒搬运方面的挑战。此外，其结构紧凑，占用空间小，有助于节省专用设备内的宝贵空间。
| 六轴机器人 | ||||
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| 型号 |
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| 自由度 | 6 | 6 | 6 | 6 |
| 负载能力 (kg) | 4.5 / 3.7 | 14 / 12 / 7 | 40 | 40 / 25 |
| 手腕处工作半径 (mm) | 670 / 920 | 1000 / 1200 / 1450 | 1510 | 1710 / 2010 |
| 重复定位精度 (mm) | ±0.02 | ±0.02 | ±0.015 | ±0.02/±0.03 |
洁净室标准: ISO 14644-1 |
级 2 |
级 2 |
4级 10 级 |
4级 10 级 |
防护等级 (*手腕) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) | IP65 (*IP67) |
| 安装方式 | 360° 皆可安装 | 置地式或置顶式 | ||
| 机器人控制器 | CS9 | CS9 MP | ||
