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史陶比尔是全球机电一体化解决方案提供商,下设四个事业部: 电气连接器、流体连接器、机器人和纺织品。我们是一家国际集团,目前在 28 个国家开展业务。
了解有关我们各种产品的详细信息,以及这些产品如何为您的业务发挥杠杆作用。
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在半导体工厂中,生产掩膜版或光罩,以及安装保护膜,堪称半导体加工流程中的核心环节。这些部件虽然微小,却承载着至关重要的任务,它们内含了光刻过程中需精确印刻在晶圆上的电路设计蓝图,是确保半导体产品性能与精度的关键所在。
对于极其精细的任务,诸如应用掩模版/光罩、安装保护薄膜、以及清洁和检查光罩等,史陶比尔机器人展现出近乎零振动的卓越性能。它们能够实现平滑的运动轨迹和高路径精度,完全符合ISO 2级的最高清洁度标准。
使用 TX2-60L SCR 处理光掩模
超级洁净室(SCR)6轴机器人,专为洁净室严苛的工作环境量身定制,严格遵循ISO 14644-1 2级或FED209E 1级标准。机械手臂采用全封闭结构,表面覆盖光滑聚氨酯材质,确保清洁度与可靠性达到行业领先水平。SCR机器人凭借出色的灵活性、卓越的有效负载能力以及广泛的工作范围,能够轻松应对晶圆、光掩模、晶圆载具及晶圆盒处理的各类复杂挑战。同时,其紧凑的手臂设计有效节省了设备内部空间,实现了空间利用率的最大化,为半导体生产流程带来更高的效率与便捷性。