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光掩模处理

在半导体工厂中,生产掩膜版或光罩,以及安装保护膜,堪称半导体加工流程中的核心环节。这些部件虽然微小,却承载着至关重要的任务,它们内含了光刻过程中需精确印刻在晶圆上的电路设计蓝图,是确保半导体产品性能与精度的关键所在。

对于极其精细的任务,诸如应用掩模版/光罩、安装保护薄膜、以及清洁和检查光罩等,史陶比尔机器人展现出近乎零振动的卓越性能。它们能够实现平滑的运动轨迹和高路径精度,完全符合ISO 2级的最高清洁度标准。

我们的专用产品