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史陶比尔是全球机电一体化解决方案提供商,下设四个事业部: 电气连接器、流体连接器、机器人和纺织品。我们是一家国际集团,目前在 28 个国家开展业务。
了解有关我们各种产品的详细信息,以及这些产品如何为您的业务发挥杠杆作用。
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在半导体工厂内,晶圆历经数百道精细的工艺步骤,方能雕琢出与最初设计完美契合的精密微观结构。这些繁复而严谨的工艺流程涵盖了氧化、光刻、沉积以及CMP等多个关键环节。
为了确保在这些工艺过程中,能够安全、精准地操作并装卸价值不菲的晶圆,机器人机械臂必须具备极高的可靠性和洁净度,以确保生产流程的顺利进行和最终产品质量的卓越。
使用 TX2-60 SCR 处理晶圆进行加工
超级洁净室(SCR)6轴机器人,专为洁净室严苛的工作环境量身定制,严格遵循ISO 14644-1 2级或FED209E 1级标准。机械手臂采用全封闭结构,表面覆盖光滑聚氨酯材质,确保清洁度与可靠性达到行业领先水平。SCR机器人凭借出色的灵活性、卓越的有效负载能力以及广泛的工作范围,能够轻松应对晶圆、光掩模、晶圆载具及晶圆盒处理的各类复杂挑战。同时,其紧凑的手臂设计有效节省了设备内部空间,实现了空间利用率的最大化,为半导体生产流程带来更高的效率与便捷性。